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å®‰ä¸–â€œå·¦æ‰‹æ–­ä¾›å³æ‰‹â€ï¼ä»Žä¸€ç²’沙开始的晶圆如何承载全çƒç§‘技?

11月2日凌晨,一则æ¥è‡ªå®‰ä¸–åŠå¯¼ä½“(Nexperia)中国公å¸çš„公告函在科技圈引å‘关注。公告直指其è·å…°æ¯å…¬å¸å•æ–¹é¢å†³å®šï¼Œåœæ­¢å‘东莞的å°è£…æµ‹è¯•å·¥åŽ‚ä¾›åº”æ™¶åœ†ã€‚è¿™ä¸€å·¦æ‰‹æ–­ä¾›å³æ‰‹çš„奇特æ“作,瞬间将一个高度专业的å诗—“晶圆推到了èšå…‰ç¯ä¸‹ã€‚

在åŠå¯¼ä½“è¿™æ¡äº§ä¸šä¸­ï¼Œæ™¶åœ†ç©¶ç«Ÿæ‰®æ¼”ç€ä»€ä¹ˆè§’色?它为何能æˆä¸ºæ•´æ¡äº§ä¸šé“¾ä¸Šçš„å…³é”®çŽ¯èŠ‚ï¼Ÿæˆ‘ä»¬æ—¥å¸¸æ‰€è¯´çš„èŠ¯ç‰‡å’Œå®ƒåˆæ˜¯ä»€ä¹ˆå…³ç³»ï¼Ÿ

从沙å­åˆ°ç”»å¸ƒ

如果说芯片是现代工业的粮食,那么晶圆就是培育粮食的黑土地。这片黑土地的土壤,其实æ¥è‡ªäºŽåœ°çƒä¸Šæœ€å¸¸è§çš„物质之一——æ²™å­ï¼ˆä¸»è¦æˆåˆ†ï¼šäºŒæ°§åŒ–硅)。

点沙æˆç¡…

æ²™å­é‡Œæœ‰ç¡…,但是纯度很低,而且是二氧化硅(SiO2)。我们ä¸èƒ½éšä¾¿æŠ“一把沙å­å°±æ‹¿æ¥æç‚¼ç¡…。通常,会选用å«ç¡…釿¯”较高的石英砂矿石。

ç¬¬ä¸€æ­¥ï¼Œè„±æ°§ã€æçº¯ã€‚

将石英砂原料放入熔炉中,加热到1400℃以上的高温(硅的熔点为1410℃),与碳æºå‘生化学å应,就å¯ä»¥ç”Ÿæˆé«˜çº¯åº¦ï¼ˆ98%以上)的冶金级工业硅(MG-Si)。

éšåŽï¼Œé€šè¿‡æ°¯åŒ–å应和蒸é¦å·¥è‰ºï¼Œè¿›ä¸€æ­¥æçº¯ï¼Œå¾—到纯度更高的硅。

ç¡…è¿™ä¸ªææ–™ï¼Œä¸ä»…å¯ä»¥ç”¨äºŽåŠå¯¼ä½“芯片制造,也å¯ä»¥ç”¨äºŽå…‰ä¼è¡Œä¸šï¼ˆå¤ªé˜³èƒ½å‘电)。

在åŠå¯¼ä½“èŠ¯ç‰‡è¡Œä¸šï¼Œå¯¹ç¡…çš„çº¯åº¦è¦æ±‚æ›´åŠ å˜æ€ï¼Œæ˜¯99.9999999%到99.999999999%,也就是9~11个9。这ç§ç”¨äºŽåŠå¯¼ä½“制造的硅,学å电å­çº§ç¡…(EG-Siï¼‰ï¼Œå¹³å‡æ¯ä¸€ç™¾ä¸‡ä¸ªç¡…原å­ä¸­æœ€å¤šåªå…许有一个æ‚质原å­ã€‚

ç§å‡ºå®Œç¾Žçš„圆柱

è¿™ç§ç»è¿‡æçº¯ä¹‹åŽçš„硅,是多晶硅。接下æ¥ï¼Œè¿˜éœ€è¦æŠŠå®ƒå˜æˆå•æ™¶ç¡…ã€‚ç®€å•æ¥è¯´ï¼Œå•晶硅具有完美的晶体结构,有éžå¸¸å¥½çš„æ€§èƒ½ã€‚多晶硅,晶粒大ã€ä¸è§„则ã€ç¼ºé™·å¤šï¼Œå„ç§æ€§èƒ½éƒ½ç›¸å¯¹å·®ã€‚所以,芯片这ç§é«˜ç«¯è´§ï¼ŒåŸºæœ¬éƒ½ä½¿ç”¨å•晶硅。光ä¼é‚£è¾¹ï¼Œå¯ä»¥ç”¨å¤šæ™¶ç¡…。

å·¥äººä»¬å°†å¤šæ™¶ç¡…åœ¨é«˜æ¸©ä¸‹ç†”åŒ–æˆæ¶²ä½“,然åŽå°†ä¸€é¢—å¾®å°çš„籽晶浸入熔体中,并以æžå…¶ç¼“æ…¢çš„é€Ÿåº¦æ—‹è½¬ã€ææ‹‰ã€‚

éšç€ç±½æ™¶çš„生长,硅原å­ä¼šåƒæ­ç§¯æœ¨ä¸€æ ·ï¼Œä¸¥æ ¼æŒ‰ç…§ç±½æ™¶çš„æ™¶ä½“结构排列,最终形æˆä¸€æ ¹å·¨å¤§ã€å…‰æ»‘ã€å®Œç¾Žçš„åœ†æŸ±å½¢å•æ™¶ç¡…锭。这个过程必须在ç»å¯¹çœŸç©ºå’Œé«˜æ¸©ä¸‹è¿›è¡Œï¼Œä»»ä½•å¾®å°çš„震动或æ‚质都会导致å‰åŠŸå°½å¼ƒã€‚

从圆柱到圆片

晶圆为什么是圆的?答案就在这根圆柱形的硅锭上。接下æ¥ï¼Œè¿™æ ¹ç¡…锭会被精密切割机(类似精密的é¢åŒ…切片机)切割æˆä¸€ç‰‡ç‰‡åŽšåº¦ä¸åˆ°1毫米的薄片。

ç›®å‰ä¸»æµçš„切片方å¼ï¼Œæ˜¯é‡‡ç”¨å¸¦æœ‰é‡‘刚线的多线切割机,也就是用线上固定有金刚石颗粒的钢ä¸çº¿ï¼Œå¯¹ç¡…æ®µè¿›è¡Œå¤šæ®µåˆ‡å‰²ã€‚è¿™ç§æ–¹æ³•çš„æ•ˆçŽ‡é«˜ã€æŸè€—少。

 

åˆ‡ç‰‡æœ‰æ—¶å€™ä¹Ÿä¼šé‡‡ç”¨å†…åœ†é”¯ã€‚å†…åœ†é”¯åˆ™æ˜¯å†…åœ†é•€æœ‰é‡‘åˆšçŸ³çš„è–„ç‰‡ï¼Œé€šè¿‡æ—‹è½¬å†…åœ†è–„ç‰‡åˆ‡å‰²æ™¶é”­ã€‚å†…åœ†é”¯çš„åˆ‡å‰²ç²¾åº¦å’Œé€Ÿåº¦ç›¸å¯¹è¾ƒé«˜ï¼Œé€‚ç”¨äºŽé«˜è´¨é‡æ™¶åœ†çš„切割。

 

但刚切下的薄片还很粗糙。它们必须ç»è¿‡ç ”磨ã€åŒ–å­¦è…蚀和化学机械抛光等多é“å·¥åºã€‚è¿™ä¸ªæŠ›å…‰è¿‡ç¨‹å ªç§°å¹æ¯›æ±‚疵,最终的晶圆表é¢å¿…须光滑到如镜é¢ä¸€èˆ¬ã€‚

至此,一å—空白的晶圆”——芯片的画布”——æ‰ç®—æ­£å¼è¯žç”Ÿã€‚å®ƒè¿˜ä¸æ˜¯èŠ¯ç‰‡ï¼Œä½†å®ƒå·²æ˜¯æ‰¿è½½ä¸€åˆ‡è¿ç®—奇迹的基石。

从画布到城市

如果说上一阶段我们得到的是一å—å—画布(空白晶圆),那么接下æ¥çš„è¿‡ç¨‹ï¼Œå°±æ˜¯åœ¨è¿™äº›ç”»å¸ƒä¸Šç»˜åˆ¶å‡ºäººç±»è¿„ä»Šä¸ºæ­¢æœ€å¤æ‚的画作”——集æˆç”µè·¯ã€‚

这个绘制工厂,就是我们常说的晶圆厂,比如å°ç§¯ç”µã€ä¸­èŠ¯å›½é™…ç­‰ã€‚è€Œå®ƒä»¬ä½¿ç”¨çš„ç”»ç¬”ï¼Œå°±æ˜¯å…‰åˆ»æœºã€‚

画作的设计与绘制

首先,芯片设计公å¸ï¼ˆå¦‚英特尔ã€AMDã€è‹±ä¼Ÿè¾¾ï¼‰ä¼šè®¾è®¡å‡ºå¤æ‚的电路图(版图)。这张图纸被制作æˆå…‰æŽ©æ¨¡ï¼Œå®ƒå°±åƒæ˜¯è€å¼èƒ¶å·çš„底片。

æ¶‚èƒ¶ã€æ›å…‰ã€èš€åˆ»çš„循环

空白晶圆被é€å…¥æ™¶åœ†åŽ‚åŽï¼Œä¼šç»åŽ†ä¸€ä¸ªæžå…¶ç¹å¤çš„“PVDã€CVDã€å…‰åˆ»ã€èš€åˆ»ã€æ³¨å…¥å¾ªçŽ¯ï¼Œè¿™ä¸ªè¿‡ç¨‹å¯èƒ½è¦é‡å¤ä¸Šç™¾æ¬¡ï¼Œè€—时数月:

涂胶:在晶圆表é¢å‡åŒ€æ¶‚ä¸Šä¸€å±‚å¯¹å…‰æ•æ„Ÿçš„光刻胶。

æ›å…‰ï¼šå…‰åˆ»æœºï¼ˆå¦‚ASMLçš„EUV光刻机)å‘出的光æŸï¼ˆå¦‚æžç´«å¤–光)穿过光掩模,将电路图案投影到光刻胶上。被照到的部分会å‘生化学å˜åŒ–。

 

显影:洗去被æ›å…‰ï¼ˆæˆ–未被æ›å…‰ï¼‰çš„光刻胶,电路图案就留在了晶圆表é¢ã€‚

蚀刻/沉积:使用化学气体或等离å­ä½“ï¼Œåœ¨æ²¡æœ‰å…‰åˆ»èƒ¶ä¿æŠ¤çš„åŒºåŸŸè¿›è¡Œé›•åˆ»ï¼ˆèš€åˆ»æŽ‰å¤šä½™çš„ç¡…ï¼‰æˆ–æ²‰ç§¯ï¼ˆç”Ÿé•¿å‡ºæ–°çš„ææ–™å±‚,如铜导线或ç»ç¼˜ä½“)。

ç¦»å­æ³¨å…¥ï¼šåœ¨ç‰¹å®šåŒºåŸŸæŽºæ‚入其他元素,以改å˜å…¶å¯¼ç”µæ€§èƒ½ï¼Œä»Žè€Œåˆ¶é€ å‡ºæ™¶ä½“管(开关)。

从晶圆到芯片的最åŽä¸€æ­¥

这个循环往å¤ï¼Œå°±åƒç”¨3Dæ‰“å°æŠ€æœ¯ä¸€å±‚ä¸€å±‚åœ°ç›–æ¥¼ã€‚å‡ ä¸ªæœˆåŽï¼ŒåŽŸæœ¬å…‰æ»‘çš„æ™¶åœ†è¡¨é¢å·²ç»å¸ƒæ»¡äº†æ•°ä»¥ç™¾äº¿è®¡çš„微型晶体管和连接线,形æˆäº†ä¸€åº§åº§å¯†é›†çš„微缩城市。

此时,这片晶圆上已ç»å¸ƒæ»¡äº†æˆç™¾ä¸Šåƒä¸ªå®Œå…¨ç›¸åŒçš„芯片。它已ç»ä¸å†æ˜¯ç©ºç™½ç”»å¸ƒï¼Œè€Œæ˜¯æ»¡è½½ç”»ä½œçš„æˆå“。

此次事件中的安世åŠå¯¼ä½“东莞工厂的角色,正是å°è£…æµ‹è¯•ã€‚å®ƒä»¬æ‹¿åˆ°çš„ï¼Œå°±æ˜¯è¿™ç§æ»¡è½½ç”»ä½œçš„æˆå“æ™¶åœ†ã€‚它们的工作是:

测试:用探针测试晶圆上æ¯ä¸€ä¸ªè£¸ç‰‡ï¼Œçœ‹æ˜¯å¦åˆæ ¼ã€‚

切割:将这å—大圆片切割æˆä¸€ä¸ªä¸ªç‹¬ç«‹çš„å°æ–¹å—(芯片)。

å°è£…ï¼šå°†åˆæ ¼çš„芯片装进我们常è§çš„é»‘è‰²å°æ–¹ç›’(芯片外壳)里,并焊上引脚,以便它能安装在电路æ¿ä¸Šã€‚

从追赶到并跑

从全çƒè§†è§’看,中国大陆晶圆代工产业正在ç»åŽ†ä»Žè¿½èµ¶åˆ°å¹¶è·‘çš„å…³é”®è½¬åž‹æœŸã€‚è™½ç„¶åœ¨æœ€å…ˆè¿›çš„2纳米ã€3çº³ç±³åˆ¶ç¨‹ä¸Šä»æœ‰å·®è·ï¼Œä½†åœ¨æˆç†Ÿåˆ¶ç¨‹ã€ç‰¹è‰²å·¥è‰ºã€åŒ–åˆç‰©åŠå¯¼ä½“等领域,中国ä¼ä¸šæ­£åœ¨ç¼©å°å·®è·ç”šè‡³å®žçŽ°å±€éƒ¨é¢†å…ˆã€‚

《2025å…¨çƒåŠä¸­å›½åŠå¯¼ä½“制造市场预测和产业分æžã€‹æŠ¥å‘Šæ˜¾ç¤ºï¼Œæœªæ¥ä¸‰å¹´ï¼Œéšç€71座300mmæ™¶åœ†åŽ‚çš„é™†ç»­æŠ•äº§ï¼Œä¸­å›½å¤§é™†å°†å æ®å…¨çƒè¿‘三æˆçš„产能份é¢ã€‚

如今,中国晶圆代工产业需è¦åœ¨æŠ€æœ¯æ”»å…³ã€äººæ‰åŸ¹å…»ã€äº§ä¸šé“¾ååŒç­‰æ–¹é¢æŒç»­å‘力。未æ¥å°†åœ¨æˆç†Ÿåˆ¶ç¨‹ã€ç‰¹è‰²å·¥è‰ºé¢†åŸŸå·©å›ºä¼˜åŠ¿ï¼Œé€æ­¥å¤¯å®žä¾›åº”链安全,这样ä¸ä»…将大幅æå‡ä¸­å›½åŠå¯¼ä½“产业的自给率,也将深刻改å˜å…¨çƒåŠå¯¼ä½“产业的竞争格局。

ï¼ˆæ¥æºï¼šåŒ—京科技报)

å·²æµè§ˆ6次  å‘布日期: 2025-11-5 16:01:35  å‘布:admin
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