11月2日凌晨,一则æ¥è‡ªå®‰ä¸–åŠå¯¼ä½“(Nexperia)ä¸å›½å…¬å¸çš„公告函在科技圈引å‘关注。公告直指其è·å…°æ¯å…¬å¸å•æ–¹é¢å†³å®šï¼Œåœæ¢å‘东莞的å°è£…测试工厂供应“晶圆”。这一“左手æ–供峿‰‹”的奇特æ“作,瞬间将一个高度专业的å诗—“晶圆”推到了èšå…‰ç¯ä¸‹ã€‚
在åŠå¯¼ä½“è¿™æ¡äº§ä¸šä¸ï¼Œ“晶圆”究竟扮演ç€ä»€ä¹ˆè§’色?它为何能æˆä¸ºæ•´æ¡äº§ä¸šé“¾ä¸Šçš„关键环节?我们日常所说的“芯片”å’Œå®ƒåˆæ˜¯ä»€ä¹ˆå…³ç³»ï¼Ÿ
从沙å到“画布”
如果说芯片是现代工业的“粮食”,那么晶圆就是培育粮食的“黑土地”。这片“黑土地”çš„“土壤”,其实æ¥è‡ªäºŽåœ°çƒä¸Šæœ€å¸¸è§çš„物质之一——æ²™åï¼ˆä¸»è¦æˆåˆ†ï¼šäºŒæ°§åŒ–硅)。
点“æ²™”戓硅”
æ²™å里有硅,但是纯度很低,而且是二氧化硅(SiO2)。我们ä¸èƒ½éšä¾¿æŠ“一把沙åå°±æ‹¿æ¥æç‚¼ç¡…ã€‚é€šå¸¸ï¼Œä¼šé€‰ç”¨å«ç¡…釿¯”è¾ƒé«˜çš„çŸ³è‹±ç ‚çŸ¿çŸ³ã€‚
第一æ¥ï¼Œè„±æ°§ã€æçº¯ã€‚
å°†çŸ³è‹±ç ‚åŽŸæ–™æ”¾å…¥ç†”ç‚‰ä¸ï¼ŒåŠ çƒåˆ°1400℃以上的高温(硅的熔点为1410℃),与碳æºå‘生化å¦å应,就å¯ä»¥ç”Ÿæˆé«˜çº¯åº¦ï¼ˆ98%以上)的冶金级工业硅(MG-Si)。
éšåŽï¼Œé€šè¿‡æ°¯åŒ–å应和蒸é¦å·¥è‰ºï¼Œè¿›ä¸€æ¥æçº¯ï¼Œå¾—到纯度更高的硅。
ç¡…è¿™ä¸ªææ–™ï¼Œä¸ä»…å¯ä»¥ç”¨äºŽåŠå¯¼ä½“èŠ¯ç‰‡åˆ¶é€ ï¼Œä¹Ÿå¯ä»¥ç”¨äºŽå…‰ä¼è¡Œä¸šï¼ˆå¤ªé˜³èƒ½å‘电)。
在åŠå¯¼ä½“èŠ¯ç‰‡è¡Œä¸šï¼Œå¯¹ç¡…çš„çº¯åº¦è¦æ±‚æ›´åŠ å˜æ€ï¼Œæ˜¯99.9999999%到99.999999999%,也就是9~11个9。这ç§ç”¨äºŽåŠå¯¼ä½“åˆ¶é€ çš„ç¡…ï¼Œå¦å电å级硅(EG-Siï¼‰ï¼Œå¹³å‡æ¯ä¸€ç™¾ä¸‡ä¸ªç¡…原å䏿œ€å¤šåªå…许有一个æ‚质原å。
ç§å‡º“完美的圆柱”
è¿™ç§ç»è¿‡æçº¯ä¹‹åŽçš„硅,是多晶硅。接下æ¥ï¼Œè¿˜éœ€è¦æŠŠå®ƒå˜æˆå•æ™¶ç¡…ã€‚ç®€å•æ¥è¯´ï¼Œå•晶硅具有完美的晶体结构,有éžå¸¸å¥½çš„æ€§èƒ½ã€‚多晶硅,晶粒大ã€ä¸è§„则ã€ç¼ºé™·å¤šï¼Œå„ç§æ€§èƒ½éƒ½ç›¸å¯¹å·®ã€‚所以,芯片这ç§é«˜ç«¯è´§ï¼ŒåŸºæœ¬éƒ½ä½¿ç”¨å•晶硅。光ä¼é‚£è¾¹ï¼Œå¯ä»¥ç”¨å¤šæ™¶ç¡…。
å·¥äººä»¬å°†å¤šæ™¶ç¡…åœ¨é«˜æ¸©ä¸‹ç†”åŒ–æˆæ¶²ä½“,然åŽå°†ä¸€é¢—å¾®å°çš„“籽晶”浸入熔体ä¸ï¼Œå¹¶ä»¥æžå…¶ç¼“æ…¢çš„é€Ÿåº¦æ—‹è½¬ã€ææ‹‰ã€‚
éšç€ç±½æ™¶çš„“生长”,硅原åä¼šåƒæç§¯æœ¨ä¸€æ ·ï¼Œä¸¥æ ¼æŒ‰ç…§ç±½æ™¶çš„æ™¶ä½“ç»“æž„æŽ’åˆ—ï¼Œæœ€ç»ˆå½¢æˆä¸€æ ¹å·¨å¤§ã€å…‰æ»‘ã€å®Œç¾Žçš„圆柱形“啿™¶ç¡…锔。这个过程必须在ç»å¯¹çœŸç©ºå’Œé«˜æ¸©ä¸‹è¿›è¡Œï¼Œä»»ä½•å¾®å°çš„震动或æ‚质都会导致å‰åŠŸå°½å¼ƒã€‚
从“圆柱”到“圆片”
æ™¶åœ†ä¸ºä»€ä¹ˆæ˜¯åœ†çš„ï¼Ÿç”æ¡ˆå°±åœ¨è¿™æ ¹åœ†æŸ±å½¢çš„ç¡…é”上。接下æ¥ï¼Œè¿™æ ¹ç¡…é”会被精密切割机(类似精密的“é¢åŒ…切片机”)切割æˆä¸€ç‰‡ç‰‡åŽšåº¦ä¸åˆ°1毫米的薄片。
ç›®å‰ä¸»æµçš„切片方å¼ï¼Œæ˜¯é‡‡ç”¨å¸¦æœ‰é‡‘刚线的多线切割机,也就是用线上固定有金刚石颗粒的钢ä¸çº¿ï¼Œå¯¹ç¡…æ®µè¿›è¡Œå¤šæ®µåˆ‡å‰²ã€‚è¿™ç§æ–¹æ³•çš„æ•ˆçŽ‡é«˜ã€æŸè€—少。
切片有时候也会采用内圆锯。内圆锯则是内圆镀有金刚石的薄片,通过旋转内圆薄片切割晶é”ã€‚å†…åœ†é”¯çš„åˆ‡å‰²ç²¾åº¦å’Œé€Ÿåº¦ç›¸å¯¹è¾ƒé«˜ï¼Œé€‚ç”¨äºŽé«˜è´¨é‡æ™¶åœ†çš„切割。

但刚切下的薄片还很粗糙。它们必须ç»è¿‡ç ”磨ã€åŒ–å¦è…蚀和“åŒ–å¦æœºæ¢°æŠ›å…‰”ç‰å¤šé“å·¥åºã€‚è¿™ä¸ªæŠ›å…‰è¿‡ç¨‹å ªç§°“广¯›æ±‚ç–µ”,最终的晶圆表é¢å¿…须光滑到“如镜é¢ä¸€èˆ¬”。
至æ¤ï¼Œä¸€å—空白的“晶圆”——芯片的“画布”——æ‰ç®—æ£å¼è¯žç”Ÿã€‚å®ƒè¿˜ä¸æ˜¯èŠ¯ç‰‡ï¼Œä½†å®ƒå·²æ˜¯æ‰¿è½½ä¸€åˆ‡è¿ç®—奇迹的基石。
从“画布”到“城市”
如果说上一阶段我们得到的是一å—嗓画布”(空白晶圆),那么接下æ¥çš„è¿‡ç¨‹ï¼Œå°±æ˜¯åœ¨è¿™äº›ç”»å¸ƒä¸Šç»˜åˆ¶å‡ºäººç±»è¿„ä»Šä¸ºæ¢æœ€å¤æ‚çš„“画作”——集æˆç”µè·¯ã€‚
这个“绘制”工厂,就是我们常说的“晶圆厂”,比如å°ç§¯ç”µã€ä¸èН国际ç‰ã€‚而它们使用的“画笔”,就是光刻机。
“画作”的设计与绘制
首先,芯片设计公å¸ï¼ˆå¦‚英特尔ã€AMDã€è‹±ä¼Ÿè¾¾ï¼‰ä¼šè®¾è®¡å‡ºå¤æ‚çš„ç”µè·¯å›¾ï¼ˆç‰ˆå›¾ï¼‰ã€‚è¿™å¼ å›¾çº¸è¢«åˆ¶ä½œæˆ“å…‰æŽ©æ¨¡”ï¼Œå®ƒå°±åƒæ˜¯è€å¼èƒ¶å·çš„底片。
æ¶‚èƒ¶ã€æ›å…‰ã€èš€åˆ»çš„循环
空白晶圆被é€å…¥æ™¶åœ†åŽ‚åŽï¼Œä¼šç»åŽ†ä¸€ä¸ªæžå…¶ç¹å¤çš„“PVDã€CVDã€å…‰åˆ»ã€èš€åˆ»ã€æ³¨å…¥”循环,这个过程å¯èƒ½è¦é‡å¤ä¸Šç™¾æ¬¡ï¼Œè€—时数月:
涂胶:在晶圆表é¢å‡åŒ€æ¶‚ä¸Šä¸€å±‚å¯¹å…‰æ•æ„Ÿçš„“光刻胶”。
æ›å…‰ï¼šå…‰åˆ»æœºï¼ˆå¦‚ASMLçš„EUV光刻机)å‘出的光æŸï¼ˆå¦‚æžç´«å¤–光)穿过“光掩模”,将电路图案“投影”到光刻胶上。被照到的部分会å‘生化å¦å˜åŒ–。

显影:洗去被æ›å…‰ï¼ˆæˆ–未被æ›å…‰ï¼‰çš„光刻胶,电路图案就留在了晶圆表é¢ã€‚
蚀刻/æ²‰ç§¯ï¼šä½¿ç”¨åŒ–å¦æ°”体或ç‰ç¦»åä½“ï¼Œåœ¨æ²¡æœ‰å…‰åˆ»èƒ¶ä¿æŠ¤çš„åŒºåŸŸè¿›è¡Œ“雕刻”(蚀刻掉多余的硅)或“沉积”ï¼ˆç”Ÿé•¿å‡ºæ–°çš„ææ–™å±‚,如铜导线或ç»ç¼˜ä½“)。
ç¦»åæ³¨å…¥ï¼šåœ¨ç‰¹å®šåŒºåŸŸ“æŽºæ‚”å…¥å…¶ä»–å…ƒç´ ï¼Œä»¥æ”¹å˜å…¶å¯¼ç”µæ€§èƒ½ï¼Œä»Žè€Œåˆ¶é€ 出晶体管(开关)。
从晶圆到芯片的最åŽä¸€æ¥
这个循环往å¤ï¼Œå°±åƒç”¨3Dæ‰“å°æŠ€æœ¯ä¸€å±‚ä¸€å±‚åœ°ç›–æ¥¼ã€‚å‡ ä¸ªæœˆåŽï¼ŒåŽŸæœ¬å…‰æ»‘çš„æ™¶åœ†è¡¨é¢å·²ç»å¸ƒæ»¡äº†æ•°ä»¥ç™¾äº¿è®¡çš„微型晶体管和连接线,形æˆäº†ä¸€åº§åº§å¯†é›†çš„“微缩城市”。
æ¤æ—¶ï¼Œè¿™ç‰‡“晶圆”上已ç»å¸ƒæ»¡äº†æˆç™¾ä¸Šåƒä¸ªå®Œå…¨ç›¸åŒçš„“芯片”。它已ç»ä¸å†æ˜¯“空白画布”,而是“满载画作的æˆå“”。
æ¤æ¬¡äº‹ä»¶ä¸çš„安世åŠå¯¼ä½“ä¸œèŽžå·¥åŽ‚çš„è§’è‰²ï¼Œæ£æ˜¯“å°è£…测试”。它们拿到的,就是这秓满载画作”çš„æˆå“晶圆。它们的工作是:
测试:用探针测试晶圆上æ¯ä¸€ä¸ªè£¸ç‰‡ï¼Œçœ‹æ˜¯å¦åˆæ ¼ã€‚
切割:将这å—大圆片切割æˆä¸€ä¸ªä¸ªç‹¬ç«‹çš„å°æ–¹å—(芯片)。
å°è£…ï¼šå°†åˆæ ¼çš„芯片“装”进我们常è§çš„é»‘è‰²å°æ–¹ç›’(芯片外壳)里,并焊上引脚,以便它能安装在电路æ¿ä¸Šã€‚
从“追赶”到“å¹¶è·‘”
从全çƒè§†è§’看,ä¸å›½å¤§é™†æ™¶åœ†ä»£å·¥äº§ä¸šæ£åœ¨ç»åŽ†ä»Ž“追赶”到“å¹¶è·‘”的关键转型期。虽然在最先进的2纳米ã€3çº³ç±³åˆ¶ç¨‹ä¸Šä»æœ‰å·®è·ï¼Œä½†åœ¨æˆç†Ÿåˆ¶ç¨‹ã€ç‰¹è‰²å·¥è‰ºã€åŒ–åˆç‰©åŠå¯¼ä½“ç‰é¢†åŸŸï¼Œä¸å›½ä¼ä¸šæ£åœ¨ç¼©å°å·®è·ç”šè‡³å®žçŽ°å±€éƒ¨é¢†å…ˆã€‚
《2025å…¨çƒåŠä¸å›½åŠå¯¼ä½“åˆ¶é€ å¸‚åœºé¢„æµ‹å’Œäº§ä¸šåˆ†æžã€‹æŠ¥å‘Šæ˜¾ç¤ºï¼Œæœªæ¥ä¸‰å¹´ï¼Œéšç€71座300mmæ™¶åœ†åŽ‚çš„é™†ç»æŠ•äº§ï¼Œä¸å›½å¤§é™†å°†å æ®å…¨çƒè¿‘三æˆçš„产能份é¢ã€‚
如今,ä¸å›½æ™¶åœ†ä»£å·¥äº§ä¸šéœ€è¦åœ¨æŠ€æœ¯æ”»å…³ã€äººæ‰åŸ¹å…»ã€äº§ä¸šé“¾ååŒç‰æ–¹é¢æŒç»å‘力。未æ¥å°†åœ¨æˆç†Ÿåˆ¶ç¨‹ã€ç‰¹è‰²å·¥è‰ºé¢†åŸŸå·©å›ºä¼˜åŠ¿ï¼Œé€æ¥å¤¯å®žä¾›åº”é“¾å®‰å…¨ï¼Œè¿™æ ·ä¸ä»…将大幅æå‡ä¸å›½åŠå¯¼ä½“产业的自给率,也将深刻改å˜å…¨çƒåŠå¯¼ä½“äº§ä¸šçš„ç«žäº‰æ ¼å±€ã€‚
ï¼ˆæ¥æºï¼šåŒ—京科技报)
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